高精度共晶貼片機(jī)
ET-501P是將熱沉(Submount)與芯片(LD),經(jīng)過(guò)加熱鍵合在TO56管座上的專用生產(chǎn)設(shè)備。設(shè)備整體布局:
尺寸 :X 1640 Y 1320 Z 1820
設(shè)備構(gòu)成:
設(shè)備簡(jiǎn)介:
ET-501P是將熱沉(Submount)與芯片(LD),經(jīng)過(guò)加熱鍵合在TO56管座上的專用生產(chǎn)設(shè)備。
在同個(gè)管座上同時(shí)共晶兩種物料(熱沉和芯片),簡(jiǎn)化封裝工藝,提高成品良率。
熱沉與芯片藍(lán)膜上料,獨(dú)立識(shí)別,拾取與貼放,校準(zhǔn)。管座來(lái)料實(shí)現(xiàn)流水線是上下料,提高生產(chǎn)效率。
芯片發(fā)光線視覺(jué)識(shí)別定位,經(jīng)過(guò)位置及角度補(bǔ)償,保證貼裝精度。
機(jī)械手吸嘴真空拾放,流量傳感器檢測(cè)物料是否吸取成功,并設(shè)置有氮?dú)馄普婵昭b置。保證生產(chǎn)準(zhǔn)確性。吸取壓力微小,壓力穩(wěn)定。
共晶臺(tái)恒溫機(jī)構(gòu),溫度設(shè)置穩(wěn)定,生產(chǎn)過(guò)程中有氮?dú)獗Wo(hù)。保證共晶的可靠性。
機(jī)械手X,Y軸采用直線電機(jī)控制,保證精度同時(shí),提高生產(chǎn)效率。
設(shè)備原理功能:
ET-501是COB制程中將熱沉(Submount)與芯片(LD),經(jīng)過(guò)加熱鍵合在管座上的生產(chǎn)設(shè)備。
人工上料:
人工把熱沉和芯片分別放置在熱忱晶圓機(jī)構(gòu)和芯片晶圓機(jī)構(gòu)中;
人工把管座放置在上料機(jī)構(gòu)中;
自動(dòng)工作流程:
啟動(dòng)設(shè)備后,自動(dòng)流水線把管座輸送到管座工作臺(tái)并固定----管座搬運(yùn)機(jī)械手拾取管座并移至翻轉(zhuǎn)手指中----翻轉(zhuǎn)手指把管座送到共晶臺(tái)中----CDD1搜索定位熱忱----熱沉拾取機(jī)械手吸取熱沉并移至CCD7上方----CCD7對(duì)熱沉進(jìn)行背面識(shí)別并校正----熱沉拾取機(jī)械手把熱沉放在管座指定位置上----CCD5搜索定位芯片----芯片拾取機(jī)械手吸取芯片并移至校準(zhǔn)臺(tái)上----CCD4對(duì)芯片進(jìn)行正面識(shí)別并校正----芯片貼片機(jī)械手把芯片移至CCD6上方----CCD6對(duì)芯片進(jìn)行背面識(shí)別判斷補(bǔ)償是否正確----位置正確(不正確時(shí)再次進(jìn)行正面校正)----芯片貼片機(jī)械手把芯片放置在熱沉并加熱鍵合(CCD2和CCD3實(shí)時(shí)觀察共晶情況)----翻轉(zhuǎn)手指把共晶好的產(chǎn)品移出共晶臺(tái)并翻轉(zhuǎn)90°----管座搬運(yùn)機(jī)械手把共晶好的產(chǎn)品移至管座工作臺(tái)中載具----當(dāng)工作臺(tái)治具上的管座都共晶完成后通過(guò)流水線把產(chǎn)品輸送到下料機(jī)構(gòu)中。